微型尺寸设备,感知或操纵实体世界

Amkor 是微电子封装技术的全球领袖,也是最大型的微机电系统 (MEMS) 和微光机电系统 (MOEMS) 外包提供商。我们的 MEMS/传感器适用于加速器、陀螺仪、磁力仪、麦克风和传感器,包括压力、温度、红外线、生物医学、化工和气体等。

MEMS 是能够感知或操作实体世界的微型尺寸设备。MEMS 的制造采用集成电路 IC 设备类似的微细加工工艺。该工艺可以在典型的 IC 设备小面积内建立起二维或三维系统。由于制造工艺与 IC 类似,MEMS 通常建立在硅晶圆之上,但也会采用其他基板类型。得益于它的微型尺寸,单个晶圆上能够容纳成千上万个此类设备。

Amkor 的 MEMS 制造价值

  • 标准平台 = 更快的开发速度
  • 更快地推出新产品
  • 降低开发成本
  • Amkor MEMS 体验
  • 专注的 MEMS 团队
  • 利用对新设备和材料的投资,以及其他核心技术(如,TSV、铜柱等),不断更新 MEMS 工具箱
  • 内部测试开发能力

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