Micron-sized devices designed to sense or manipulate the physical world

Amkorはマイクロエレクトロニクスパッケージング技術の世界的リーダーであり、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)およびMOEMS(Micro Optical Electronic Mechanical Systems)の最大のアウトソースプロバイダーです。当社のMEMS/センサーは、加速度計、ジャイロスコープ、地磁気計、マイクロフォンおよび圧力、温度、赤外線、生物医学、化学およびガスなどのセンサをサポートしています。

MEMSは物理的世界を感知または操作することのできるミクロンサイズのデバイスです。MEMSは集積回路(IC)を製造するプロセスと類似したマイクロマシン加工プロセスを使用して製造されます。これにより2次元または3次元の微細な機械的システムを一般的なICと同程度のサイズで製造することが出来ます。プロセスがIC製造と類似しているため、MEMSは一般的にシリコンウェハ上で作られますが、他のタイプの基板も使用することが出来ます。極めてサイズが小さいため、一枚のウェハ上に数万個のデバイスが形成されます。

Value of Amkor’s MEMS Manufacturing

  • 標準プラットフォーム=迅速な開発
  • 新製品の迅速な導入
  • 低開発コスト
  • MEMSの豊富な実績
  • 専属のMEMSチーム
  • 新たな設備や材料を継続的に導入し、またTSVやCuピラーなどのコア技術を活用することでMEMSツールは絶えずアップデートされています
  • 社内テスト開発対応

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